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德國EVOCHEM蒸發材料EVOCHEM ETC-TOP
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1、 公司簡介
EVOCHEM Advanced Materials GmbH是一家致力于提供薄膜應用材料的公司，其產品組合涵蓋各種蒸發材料和配件、濺射靶材以及晶體監測等產品。該公司為薄膜應用提供較全面的材料系列，覆蓋光學和配件、磨損和裝飾涂層、微電子和半導體、光學數據存儲、顯示器和太陽能電池等多個領域。
在蒸發材料方面，EVOCHEM提供超過60種不同成分的材料，包括特殊混合物和物質，以及氟化物、氧化物、硫化物和金屬，這些材料可以顆粒、片劑或圓盤形式提供。該公司擁有定制制造任何所需形狀和純度的生產能力，數量從幾克到幾百公斤不等。
2、 產品類型
EVOCHEM的蒸發材料產品線覆蓋了多種化學成分和材料類型，以下是一些主要產品分類：
純金屬蒸發材料：涵蓋從鋁到鋯的多種金屬，提供廣泛的純度范圍
氧化物蒸發材料：用于光學涂層和其他應用領域的氧化物材料
混合物蒸發材料：多種成分的混合蒸發材料
硼化物/碳化物蒸發材料：適用于特殊應用需求的硼化物和碳化物
氟化物蒸發材料：用于特定光學性能的氟化物材料
碲化物蒸發材料：滿足特殊涂層需求的碲化物
氮化物蒸發材料：用于形成氮化物涂層的蒸發材料
硫化物/硒化物蒸發材料：包含硫化物和硒化物的蒸發材料
3、 主要型號
EVOCHEM的蒸發材料以多種形態提供，以下是其代表性產品系列：
蒸發材料顆粒
蒸發材料片劑
蒸發材料圓盤
蒸發材料棒材
蒸發材料線材
蒸發材料粉末
蒸發材料箔材
蒸發材料管材
蒸發材料靶材
4、 產品介紹
4.1、 純金屬蒸發材料
EVOCHEM提供多種純金屬和超純金屬產品，幾乎包括從鋁到鋯的金屬。這些金屬的數量和形式范圍很廣，包括粉末、線材、箔、片材、棒材、管材和靶材。提供的純度范圍為99.00% - 99.999999%。
4.2、 疏水材料ETC-TOP
EVOCHEM ETC-TOP代表了ETC產品系列的入門級質量，具有高耐磨性和良好的易清潔性能。該材料可以提供大于105°的接觸角，可以通過電阻加熱船以及使用面漆內襯的電子束沉積。
技術參數：
蒸發溫度范圍為400 - 800°C（推薦600°C）
腔室壓力：<4x10-5毫巴
涂層厚度：約10至20納米
襯底溫度：AR涂層CR39玻璃60℃
片劑的存儲：6個月(未開封)在陰涼干燥條件下
4.3、 疏水材料ETC-PRO
EVOCHEM ETC-PRO是眼科行業的專用產品線，具有高耐磨性和易于清潔的表面特性。該材料通過氣相沉積施加在SiO2層上，能提供117°的水接觸角。在整個測試過程中，即使在1kg壓力下循環8000次后，接觸角也不會低于105°。
4.4、 疏水材料ETC-PRO UV+
EVOCHEM ETC-PRO UV+是具有更高耐氣候要求的納米涂層產品線。該材料顯著提高了紫外線照射下的耐污性和耐化學性，同時保持高度光滑的表面。即使在600小時QUV和990小時氙弧燈測試條件下，PRO UV+涂層物質的接觸角也能保持在>100°。
4.5、 工作原理
EVOCHEM疏水材料的工作原理是：材料的一端與其分子鏈的一端形成共價、高度穩定的氧化物表面（例如SiO2），而另一端（全氟化）則遠離表面對齊。因此，具有易于清潔的特性。此外，涂層（例如AR層）和基材本身受到非常光滑和耐磨的納米層的保護。
物理氣相沉積工藝（PVD工藝）是EVOCHEM蒸發材料使用的一種沉積工藝，其中蒸發材料以原子的形式從固體源蒸發，并以蒸汽的形式通過真空或低壓（或等離子體）環境傳輸到蒸汽聚集的基材。
5、 優勢特點
EVOCHEM蒸發材料具有多個特點，使其在薄膜沉積過程中表現出較好的性能：
高純度材料：EVOCHEM提供的純金屬和超純金屬產品，純度范圍從99.00%至99.999999%。高純度有助于實現預期的涂層特性，減少雜質對薄膜性能的影響。
低噴濺特性：這一特點允許為關鍵應用提供低缺陷涂層，減少了后續處理工序，提高了產品的合格率。
優化的熔煉性能：材料經過優化設計，提高了生產過程中的產量，降低了單位生產成本。
形態多樣性：EVOCHEM蒸發材料提供多種形態，包括粉末、線材、箔、片材、棒材、管材和靶材等。多樣的形態使得這些材料能夠適應不同的蒸發源和設備需求。
環境友好：EVOCHEM的新產品組合已經符合最新的立法要求，其中產品或整個生產過程中均不存在全氟辛烷磺酸（PFOS）和全氟辛酸（PFOA）。
6、 主要應用
EVOCHEM蒸發材料廣泛應用于多個行業的薄膜制備過程，主要涵蓋以下領域：
光學薄膜領域：用于制備光學干涉涂層、鏡面涂層、防反射涂層（AR）和光束分離涂層等。這些涂層廣泛應用于各類光學元件和系統。
微電子與半導體領域：用于沉積導電薄膜（包括TCO薄膜和ITO），這些薄膜是微電子器件和半導體裝置的關鍵組成部分。
裝飾與防護涂層：應用于裝飾涂層、耐磨涂層和防腐蝕涂層，為產品提供美觀外觀和延長使用壽命。
顯示與能源領域：用于顯示器、光學數據存儲和太陽能電池等應用的薄膜制備。
眼科行業：EVOCHEM的ETC-PRO產品線是眼科行業的專用產品，具有較高的耐磨性和易于清潔的表面特性。
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